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常用靶材規(guī)格：φ100×40，φ100×45，φ95×45，φ90×40，φ80×50等

可定制靶材規(guī)格：圓靶（直徑φ1"-φ14"，厚度0.5-15mm），板靶(長<500mm*寬<500mm*高<25mm），

                          管靶（外直徑φ3.0mm-φ300mm,內(nèi)直徑φ2.0mm-280mm）

材料純度：>99.995%

金屬雜質(zhì)含量：（Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Cr/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn）：<10ppm

平面度（TIR）:<20μm

局部平整度（STIR）:<10μm

翹曲度（Warp）:<50μm